主要研究内容：
    该课题以光纤耦合作业为应用背景，从基础研究、单元技术开发、系统应用研究三个层次，对微操作机器人关键技术进行了深入研究。取得如下成果：
     1、提出了压电陶瓷的迟滞数学模型，得到实验验证。
     2、研制了系列化的压电陶瓷驱动电源，获得应用。
     3、研制了三种微位移检测模块和全数字化的微定位控制器，获得应用。
     4、研制出五自由度纳米级微驱动系统，达到纳米精度，获得应用。
     5、研制出六自由度精密并联定位系统，达到亚微米级精度，获得应用。
     6、研制出具有通用性并能够完成光纤精密作业的微操作机器人系统，达到如下指标：光纤间偏轴量：小于0.05um，光纤间轴向倾斜角：小于30°，耦合功率衰耗：小于0.O2dB，平均作业时间：小于18s。
    技术水平：
    该项技术总体上居于国内领先地位，并达到了国际先进水平。
    产业化前景：
    目前，在纳米微定位方面已经形成产业化。有了这些关键技术成果，面向这些不同的应用领域，进行技术集成，开发出不同的应用系统。沿着目标牵引、技术驱动的思路，将会极大地促进微操作技术在各个领域的应用。
    经济效益和社会效益：
    截至2003年年底，纳米微定位产品已销售116台（套），其中，压电陶瓷驱动电源已销售44台，纳米测微仪已销售27台，纳米定位控制器及微动台已销售45套。实现产值240万元，利税70余万元，用户主要是国内大专院校和科研院所，与国外同类产品相比，所研制的微驱动产品具有更好的性价比，越来越多的研究单位开始认识和选择所研制的纳米微驱动产品，市场前景看好，取得了良好的经济和社会效益。

成果应用情况：

    该研究成果可用于光纤作业、光学微调整、生物医疗微操作、微机电系统组装、超精密加工等领域。

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