等离子清洗机技术原理

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等离子清洗机技术原理

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等离子清洗机技术原理

［作者：佚名转贴自：http://www.harmada.com/articles/%e7%ad%89%e7%a6%bb%e5%ad%90%e6%b8%85%e6%b4%97%e6%9c%ba%e6%8a%80%e6%9 点击数：161 更新时间：2008/3/12 文章录入：谢川］

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一、等离子清洗机工作原理

二、平板式(电容耦合)等离子清洗机系统原理(KHz/MHz)

三、外置电极式(感应耦合)等离子清洗机系统原理(MHz/GHz)

四、等离子清洗机处理周期

五、气体等离子化原理

氩气：Ar →Ar++ e-

氧气：O2→O+ + O+ + 2e-

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