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  同时测量厚度与折射率的激光干涉测量仪         
同时测量厚度与折射率的激光干涉测量仪
[ 作者:佚名    转贴自:http://www.tt.cas.cn/web/Fruits/search.asp?pgno=24&txtFruitType=TG&txtTop=200000&txtOrderby=%20Fruit    点击数:62    更新时间:2006/9/12    文章录入:夏晶晶 ]
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项目类型: 可推广技术产品
项目单位名称: 中国科学院上海光学精密机械研究所 (查看联系信息)
专利状况: 授权专利 专利(申请)号:00259517.6
技术(产品)报价:
单位所在地区:

技术(产品)用途介绍:

 一种同时测量厚度与折射率的激光干涉测量仪,包括线性调制光源,由准直透镜,六个分束器,两块反射镜以及置于样品架上的被测物体构成多光束干涉仪。由四个探测器分别通过四个位相提取器和四个微分器连接到带显示面板的数据处理器上的四个端口构成信号检测和数据处理部分。具有无需扫描干涉臂,能够实时测量物体的厚度和折射率。测量精度和灵敏度高的特点。

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