技术(产品)用途介绍：

一种微小位移的半导体激光干涉测量仪，包括同光轴地依次置有原光源、第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；偏振分束器反射光束的方向上置有第二透镜和调制光源。调制光源和原光源均为半导体激光器。原光源的波长是通过正弦信号发生器与驱动器来控制调制光源的光强正弦变化，调制光源的输出光强加于原光源上，利用光热效应来调制的。而原光源输出光强不随时间变化，避免了已有技术中的补偿问题，提高了测量精度，使用操作简便。