技术(产品)用途介绍：

一种大面积透射光栅软X射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分。机械构件包括头部衔接管的接口法兰与真空靶室窗口密接，衔接管的衔接法兰与外套筒的前衔接法兰衔接，外套筒内固定于头部衔接法兰上有装有悬挂式导轨的斜拉加强筋的支撑板。光学元件包括沿着软X射线束S前进方向上，依次有矩形光阑，分别置于导轨上五维调整架上作为反射镜的轮胎镜和无支撑大面积透射光栅。它具有结构简单、调节方便、分辨率高、光谱分辨率可达0.05nm的优点。