技术(产品)用途介绍:
一种光束方向微小漂移检测系统,特别适用于激光高精度刻录系统光束方向漂移的检测,也可用于对振动的定量检测。它主要包括两块相同参数、相互平行、中心置于系统光轴上的光栅,在两块光栅之前放置被测光源,在两块光栅之后置有探测器、信号处理器和计算机。本发明的检测系统具有结构简单、系统误差小、测量较直接、测量精度高(可达到微弧度量级)等优点。