技术(产品)用途介绍：

一种超精细结构的光学测量系统，适用于光盘表面结构、亚微米级线宽集成电路、生物组织结构以及其他纳米至亚微米级样品结构的测量。它基于透射式共焦扫描成像系统或反射式共焦扫描成像系统中加入振幅受调制的软边光阑的掩模板。具有非接触、非损伤、采用可见光激光器的相干光源，最大限度提高了系统的分辨能力，使得共焦光路能够分辨超过经典衍射极限物体细节的特点。