技术(产品)用途介绍：

10-10 Pa超高真空实验室有目前国际第一流的真空获得和测量设备，可以进行极低材料出气率测试（10-12Pa.l/s.cm2），宽量程规管比对（105Pa~10-10Pa），各类超高真空泵抽速及极限真空测试等。

产品性能：

超高真空实验室有涡轮分子泵、溅射离子泵、钛升华泵抽速及极限真空测试系统，极低材料出气率测试系统和宽量程规管比对系统。这些测试系统均为全无油超高真空系统，系统极限真空度在10-9~10-10 Pa范围。总压力测量采用德国LEYBOLD公司生产的IM520配用IE514规管，测量下限为2×10-10 Pa。分压力测量采用PFEIFFER公司生产的QuadstarTM 422四极质谱计，最低可检分压为10-12 Pa。烘烤系统设计合理，烘烤过程采用计算机控制。