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压电陶瓷微致动器及驱动电源
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| 压电陶瓷微致动器及驱动电源 来源：信息发布 作者：信息发布人员 发布时间：2017年10月09日 浏览次数：1 26所自八十年代初研究成功PLZT电致伸缩陶瓷材料，开发出WTDS-1A型电致伸缩陶瓷微位移器以来，相继研究开发了一百多个规格的电致伸缩微位移器件，这些器件在电控精密微定位，微驱动等领域得到了广泛的应用（精密仪器、光电仪器、精密机械、生物工程、地震预报等），现在已有400余个单位成功地应用我所的WTDS系列器件开发了许多新产品，解决了大量的微定位、微驱动问题，得到了用户的一致好评。
1、WTDS系列电致伸缩陶瓷微位移器 WTDS电致伸缩微位移器是由PLZT陶瓷材料（在电场作用下，该材料晶格定位引起介电驰豫而发生形变），独石叠层工艺制作而成的。它是一种高分辨率电压控制微小应变的器件。其位移量是由叠层数和电场大小控制的。它具有工作电压低、分辨率高、响应快、滞后小、回零再现性好、无老化现象、稳定性好等突出优点。它是光学、机械加工、电子、航空、生物、医学、遗传工程和光纤通讯等领域中实现超精定位、超精加工、误差补偿、相位调制等功能的理想执行器件。该器件定位精度可达亚微米级，分辨率可达到几十纳米。
WTYD系列压电陶瓷微位移器是采用具有高压电应变常数的压电陶瓷材料，经叠层工艺制作的压电叠堆器件，它的工作原理是利用压电陶瓷的逆压电效应，即在电场作用下，产生形变，在弹性限度内，该形变与外加电场成线性关系，电场极性改变，形变性质发生改变（伸长或缩短）。WTYS系列微位移器选用条件与WTDS系列基本相同，WTDS系列所有尺寸的器件均可用WTYD实现。WTYD驱动电压一般为0～+200VAD或0～100VAD，允许施加负电压最大绝对值为正常工作最高电压的40％。
精密微定位工作台，具有极高的位移分辨率和重复定位精度、控制方便，采用机构一体化设计。可作为微位移、微定位的基础平台应用于微型机械制造、超精密加工、生物工程、集成电路制造、医疗科学、光纤对接、光学微处理系统。、航空航天领域、扫描探针显微镜、扫描隧道显微镜和CCD的快速位移，提高像素等。
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