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等离子清洗机技术原理
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一、等离子清洗机工作原理
二、平板式(电容耦合)等离子清洗机系统原理(KHz/MHz)
三、外置电极式(感应耦合)等离子清洗机系统原理(MHz/GHz)
四、等离子清洗机处理周期
五、气体等离子化原理
氩气：Ar →Ar++ e- 氧气：O2→O+ + O+ + 2e- |
