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二氧化硅增透膜的制备方法

作者:佚名    转贴自:http://www.tt.cas.cn/web/Fruits/search.asp?pgno=24&txtFruitType=TG&txtTop=200000&txtOrderby=%20Fruit    点击数:84


项目类型: 可推广技术产品
项目单位名称: 中国科学院上海光学精密机械研究所 (查看联系信息)
专利状况: 授权专利 专利(申请)号:97106405.9
技术(产品)报价:
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技术(产品)用途介绍:

一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成用于增透膜的二氧化硅膜层。制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统的加热炉中的加热管内,加热管内通入氨气,并对加热管缓慢升温,升高温度T>200oC时再保温一定时间后逐渐降到室温。经过本发明的碱性高温强化处理的二氧化硅膜层与基片的结合力强,能够经受较大强度的擦洗,并能承受高温或强光的辐射。