技术(产品)用途介绍：

 本发明是一种表面微结构检测系统及其检测方法。适用于检测光盘盘基、盘片以及各种基片表面的粗糙度状况，可以给出表面微结构的二维或三维形貌图。在由计算机、数模转换卡、高压放大器、精平移器位置平衡装置、压电陶瓷传感器、显微物镜、干涉头、照明光源、电荷耦合器（CCD）及其它光学元件构成的检测系统中，干涉头为三片板型构置：即由反射片和支撑板构成的参考板、分光板和补偿板所构成。所采用的检测方法是多序列移相操作和反馈式移相控制技术。