射频清洗工艺 作者:佚名 转贴自:http://www.tt.cas.cn/web/Fruits/search.asp?pgno=20&txtFruitType=TG&txtTop=200000&txtOrderby=%20Fruit 点击数:66
技术(产品)用途介绍:
本发明涉及一种用于磁约束聚变装置第一壁的清洗工艺,其特征是:离子回旋天线置于磁约束聚变装置内,该装置内预充有氦气;由射频发射机提供所需的射频波;射频波经阻抗匹配系统耦合到离子回旋天线,使该天线激发射频电磁波;射频电磁波电离产生等离子,轰击面向等离子的磁约束聚变装置第一壁表面,解吸吸附在该壁表面的杂质;用大抽速的真空泵将解吸出来的杂质分子抽出,实现快速、高效清洗磁约束聚变装置第一壁的目的。